Browsing by Author "Chao Chin-Chieh"

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    類LIGA製程應用於靜電式微致動器光開關之研製
    (2003) 趙俊傑; Chao Chin-Chieh
    微機電系統技術中整合光刻術、電鑄及模造成型之深光刻電鑄模造(LIGA)製程，是批量生產高深寬比微元件的最佳方法。標準的LIGA製程使用同步輻射X光為光刻源，可製作次微米精度之微結構，但因其製程成本高、程序複雜、時程長，使得以紫外光、準分子雷射或電漿作為光源的類LIGA製程成為另一種發展趨勢。 本研究目的是利用類LIGA與厚膜製程結合的方式，低成本且快速地開發微光學應用之微反射鏡式光開關元件。本研究所製作之微光開關，依其結構所使用之材料，即微致動器與微反射鏡為結構材料，一是全為SU-8之厚膜製程，另一為UV-LIGA製程鎳電鑄結合SU-8厚膜製程之光開關，採用同一組光罩，兩種不同製程，並成功的製作出以一體成型之微光開關結構，其優點如下：低成本、可降低微反射鏡因組裝所造成的誤差，利用間接驅動方式增加微反射鏡的作動行程，以增進光路切換的適用範圍。 本研究微反射鏡式光開關採用靜電式致動器，鍍金屬膜後，成功地以AC125伏特電壓驅動；微反射鏡對光波長632nm之可光源與光波長1550nm之紅外光源皆有反射效能，其反射效率分別為17.6% 及20.5% 。