Browsing by Author "Bo-Hsiang Tseng"
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Item 應用於腦電波量測之三維乾式電極製作技術開發(2007) 曾柏翔; Bo-Hsiang Tseng有鑑於近年來,腦電波雖然廣泛地應用於醫學臨床之診斷,與大腦人機界面系統,但其量測電極技術卻無顯著進步。故本研究提出一種新型腦波量測電極製造技術,利用微機電製程中,特有的矽基體型微加工技術、KMPR厚膜光阻微影、精密電鑄製程,並結合PDMS聚合物材料之選用。製造出於可撓曲基板上,擁有三維微探針陣列之乾式電極。有別於現今通用之銀/氯化銀電極,此新型量測電極,可於不需使用導電膠,且省略去角質等皮膚前處理的條件下,進行腦電波量測。 於實驗中,建立新型厚膜光阻KMPR 1050之相關製程參數,使得以一次旋轉塗佈的製程,便可得到厚度約130 um之光阻膜。配合KOH蝕刻、精密電鑄製程與本實驗所提出之二階段式光阻去除步驟,可製作出高度約170 um、寬為 50 um(深寬比為3.5),且具出平面特性之微探針陣列。雖然此製程證明其製造上之可行性,但由於其製造良率低於50%。因此本研究中,提出三種改善良率之製程,藉以希望達到微機電製程中,特有的批次生產能力。