Browsing by Author "黃信翰"

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    先進栓塞材料開發與製程整合
    (2014) 黃信翰; Huang Shin Ham
    摘要 在90年代末期，內連結導線部分應用逐漸被銅取代，但是垂直連結的栓塞材料仍就是鎢，主要考量鎢的熱與化學穩定性佳。但在逐漸微縮的元件要求下，傳統以CVD方式沉積的栓塞因阻值增高，衍生的寄生電阻串聯效應，將會嚴重影響元件特性。 在本研究中，我們比較以不同方式(PVD& ALD)製備TiN當作擴散阻絕層(Diffusion Barryier Layer)，鎢(W)當垂直栓塞導線。TiN是傳統鎢栓塞使用的擴散阻障層材料。而ALD製程是目前製作極薄、均勻薄膜的理想製程。本研究結合電漿結構改質與雜質摻雜的方式，試圖改變ALD-TiN在製程後的結構，以提高其高溫阻絕擴散能力，並透過Ag/n+ p-Si結構的二極體來觀察高溫漏電流行為，評斷阻絕能力。 整合方面，本實驗以 200nm x 200nm 的Contact Plug Size為主，水平導線採用(Al-Si-Cu)，製作接觸鏈(Contact chain)結構，探討不同製程下的垂直栓塞材料(W)之電性，並建立一套栓塞電阻量測結構製程流程(Process Flow)。藉由實驗的結果，探討如何降低整體鎢栓塞電阻值的方法，以及選用不同方式的擴散阻絕層製程以及改善方式，一方面減少填充時的孔洞，另一方面提升擴散阻絕能力，提供給下一世代栓塞製程延伸的選擇。 關鍵字：栓塞、鎢、擴散阻障
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    吹牛骰子之人工智慧研究
    (2009) 黃信翰
    吹牛骰子是一種較為特殊的骰子遊戲，屬於不完全資訊賽局的一種。在此遊戲中，骰子扮演著類似撲克牌的角色，玩家必須根據手中的骰子牌型採取喊牌方式，直到有一方決定要做勝負的判定。吹牛骰子最初起源於南美，經過長時間的演化，發展出多人共用一副骰子的individual hand類型與玩家各自使用一副骰子的common hand兩大類型。 本研究以common hand類型為主，因為骰子數變多，且遊戲中僅能獲得少量不可靠的資訊，要找出好的玩法策略顯得更加困難。我們希望能捨棄傳統上常用的賽局樹搜尋與亂數模擬法等耗用大量計算資源的方法，利用賽局理論，以一種簡單明快的作法來達到此遊戲的最佳(或較佳)玩法。並採用貝氏信賴網路，在連續的對局中對網路進行訓練，達成對手行為模擬的效果，藉由發掘對手的弱點來提高勝率。 實驗結果顯示，我們所找到的以隨機猜測為基礎的演算法，對於其他以各種啟發式規則所實作的32種測試程式，都有約6~7成的勝率，並且與具有一定水準的人類玩家對戰，也有與之抗衡的能力。在加入貝氏網路的學習之後，戰績也有明顯的提升。在不完全資訊遊戲的分析上，先以隨機玩法使自己不易吃虧，再搭配上對手行為模型的輔助，的確為一種可行的作法。