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    CESL應力層與側壁結構對NMOSFET之應力模擬
    (2014) 高偉傑
    本研究主要針對具接觸孔蝕刻停止層 (contact etch stop layer, CESL) 之n型電晶體結構進行分析，並探討其材料及結構尺寸對元件應力分佈與性能之影響。由於CESL能提升電晶體元件之效能，為探討其結構影響之顯著性，本研究將CESL區分成三個部位，分別為CESL-Top、CESL-Lateral及CESL-Bottom三個區域，探討其結構之間傳遞應力與互相影響的情形，針對材料比例作模擬設計，並比較通道區域的應力分佈。 本論文分為三個研究方向，分別為CESL區分為三個區塊之影響研究、在覆蓋CESL層下之spacer影響研究以及在覆蓋CESL層下之電晶體尺寸影響研究。為了改善結構中間接效應的影響，在設計結構中，以區域結構分別建立，並在部分結構中施加應力的方式去探討，在n型電晶體中覆蓋1 GPa之CESL拉伸應力，而在改變閘極長度時，使得接觸CESL所覆蓋的區域也會跟著變動，可以隨著分析圖示中看出力量的分佈情形。首先，本文以2D模擬與文獻作比較，確定通道區域在z方向發生結構間的間接效應影響後，便以3D模擬設計去改善間接效應所帶來的應力現象，結果也發現在短通道時，CESL-Bottom區域能提供在通道中x方向最為顯著的影響。 另一方面，在電晶體製程的側壁結構 (spacer) 也是擔任傳遞力量的重要角色，在側壁結構內側的氧化層也常因為尺寸過小而被忽略，本研究設計二氧化矽層與氮化矽層之間的結構比例，觀察其CESL傳遞力量至通道間的影響情形，本研究考慮元件佈局圖對於電晶體之應力分佈與性能表現之影響，以二維與三維有限元素分析，發現在二氧化矽層與氮化矽層之間比例為1:3時，CESL傳遞應力至通道中開始出現有效的提升，而在短通道中也有更明顯的表現。因此，針對短通道結構設計，若適度調整spacer結構中較低楊氏係數的材料比例，便能於通道區域產生機械應力，其能有效的改善電晶體性能。
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    網路情境模擬教學對國中生節能減碳知識、態度、行為意向與滿意度之研究
    (2012) 高偉傑; Kao, Wei-Chieh
    本研究探討網路情境模擬教學對國中生節能減碳知識、態度與行為意向之影響。本研究採用文獻分析法、準實驗設計、問卷調查法及訪談研究法。研究對象為桃園縣某國民中學七年級兩個班共58名學生。研究工具為「節能減碳學習測驗」、「節能減碳網路情境模擬教材」及「教材滿意度問卷」。所得資料以描述性統計、成對樣本t檢定與共變數分析等統計方法進行資料處理。本研究主要結果如下： 一、網路情境模擬教學能增進學生的節能減碳「知識」，對學生的節能減碳「態度」與「行為意向」皆有正面的影響。 二、節能減碳「知識」前測成績低於70.35分的學生，較適合採用網路情境模擬教學。另外，兩組學生在接受不同教學方式後，對節能減碳的「態度」及「行為意向」的改變無顯著差異。 三、從教材滿意問卷及訪談得知，學生對於使用網路情境模擬教材進行學習之整體滿意度相當高。
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    虛擬教具對特教學校高職中度智能障礙學生金錢使用成效之研究
    (2020) 高偉傑; Gao, Wei-Jie
    高職教育階段的智能障礙學生即將面臨就業及獨立生活，而金錢使用技能為成功適應未來的重要技能之一。本研究旨在探討虛擬教具對特教學校高職中度智能障礙學生金錢使用成效之研究。研究對象為三位特教學校高職部二年級之中度智能障礙學生。採單一受試研究法跨行為多探試設計，自變項為虛擬教具—萬用揭示板，依變項為金錢使用能力之技能，包含立即成效、保留成效及類化成效。經過教學活動後，運用視覺分析探討虛擬教具對學生金錢使用技能之學習成效，其研究結果如下： 一、虛擬教具對特教學校高職中度智能障礙學生金錢使用具有立即成效。 二、虛擬教具對特教學校高職中度智能障礙學生金錢使用具有維持成效。 三、虛擬教具對特教學校高職中度智能障礙學生金錢使用具有類化成效。 根據上述研究結果，研究最後提供具體建議供未來研究者及教學工作者之參考。