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    應用於N型電晶體與射頻電路之靜電放電防護設計
    (2024) 謝佳佑; Hsieh, Chia-You
    隨著製程發展,積體電路越發脆弱,而靜電荷仍存在於環境,故靜電放電為積體電路可靠度的重要議題。為了使各電路在最小的影響下有足夠的靜電放電耐受度,須考量各種因素。部分應用因成本、性能或是製程上的限制,只能採用全N型電晶體設計,因此本論文提出了全N型電晶體之靜電放電防護設計,而部分高速或射頻電路也因性能考量使用全N型電晶體設計,在此類應用下還須考量寄生電容以避免影響高頻特性,此外,面積也是一大考量,以符合成本上的要求。本論文提出四種全NMOS之電源間靜電放電箝制電路與一種應用於射頻電路之主動式靜電放電防護設計,前者採用全NMOS設計並可節省12-14%的面積,且於實驗結果中展現出比傳統電路更高的靜電放電耐受度、相似的箝制電壓與漏電流,而與過往常見的全NMOS防護設計相比也有足夠低的觸發電壓以應用於先進製程;後者於訊號端上使用二極體作為放電元件,但此作法在10GHz以上頻段仍有較高的插入損耗,而使用電感會使面積過大,故採用一放大器提升二極體在13-17GHz下的高頻性能,且不影響其防護能力,此提出設計相比其他文獻可有更高的效用,於未來工作中也提出了採全NMOS的主動式靜電放電防護設計。

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