Browsing by Author "唐啟軒"

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    鐵電鉿基氧化物之負電容電晶體：直流反應、高速反應、穩定度測試
    (2017) 唐啟軒; Tang, Chi-Hsuan
    具鐵電效應之鉿基氧化物(Hafnium-based Oxides)於近幾年吸引相當多討論，在適當的摻雜與退火後將具有鐵電負電容之特性。應用在電晶體上能夠使其具有陡峭次臨界擺幅陡峭之特性，將大大地降低元件耗能，非常具有作為低功耗元件的潛力。且鉿基氧化物本身與矽基板間有著高相容性，在業界的使用也已行之有年，能夠快速地整合進入現有製程。 本研究將針對不同摻雜與退火條件之鉿基氧化物，以元件應用為前提進行直流操作、快速操作以及可靠度測試的研究。目標是發展利用鐵電之鉿基氧化物做為電晶體，在實用面的材料以及特性分析。累積研究結果，供未來世代元件使用。